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SmartLab X-선 회절 분석기
고분해능 박막분석 및 분말 회절 분석 대응
시료 수평형 고분해능 고니오미터
Guidance software에 의한 자동 측정 기능
CBO(Cross Beam Optics) 장착 가능
In-plane 측정 가능
9kW 고출력 X-선 발생장치 선택 가능
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MA-3000 수은분석기
전처리 불필요
고체 액체 기체 시료 중의 수은이 단시간에 측정 가능
신형 광학를 채용하여 초 고감도, 넓은 범위
(0.001 ~ 70,000 ng)를 실현첨가제 불필요로 조작성을 대폭 향상
효율화와 높은 경제성을 실현
특허 받은 Catalyst 사용
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ZSX Primus IV X-선 형광분석기
순차 분석형 형광 X-선 분석장치(상면조사형)
분석원소 : 4Be ~ 92U
X-ray generator : 4kW (60kV, 150mA)
Ultra thin Be windows (30μm)
Micro mapping (r-θ stage, CCD 장착)
New Synthetic Multi-layer Crystal
(30%이상 intensity 향상)High sensitive curved crystals
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STA8122 열분석기
Accurate compensation on horizontal
differential triple-coil balanceCompact furnace greatly speeds up
heating and cooling단계적 등온 분석 (SIA) 모드
CRC (정률 제어) 모드
표준 모델 : Ambient to 1100 ° C
고온 모델 : Ambient to 1500 ° C
샘플 관찰 모델 : Ambient to 1000 ° C
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Corial D350L PECVD 플라즈마
화학기상증착기300mm 웨이퍼까지 적용 가능
Mechanical cleaning이 필요 없는 Design
High uptime
Particle free process
MEMS, LEDs&OLEDs, Photomask,
Wireless devices 및 Power semiconductor 등
다양한 공정에 적용 가능
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NEX-DE VS ED X선 형광분석기
Na(11) ~ U(92) 까지 다원소 동시분석
대형시료용 Chamber
(30cm diameter x 10cm tall)Rigaku의 정확한 정량, 정성분석 소프트웨어
고체, 액체, powder등 다양한 재질 분석 가능