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XRD
SmartLab
- 요약정보
- Specification
- Application
- Video
- Accessories
- 고객지원
- 다목적 고분해능 X-선 회절장치
- - 고분해능 박막분석 및 분말 회절 분석 대응
- - 시료 수평형 고분해능 고니오미터
- - Guidance software에 의한 자동 측정 기능
- - CBO(Cross Beam Optics) 장착 가능
- - In-plane 측정 가능
- - 9kW 고출력 X-선 발생장치 선택 가능
다목적 고분해능 회절 장비인 SmartLab은 자동화된 모듈형 XRD로, 박막 등의 다양한 시료를 Guidance 기능에 의해 완전 자동 방식으로 측정합니다. Rigaku 분석노하우를 기반으로 개발된 Guidance 소프트웨어 패키지는 분석자에게 다양한 분석방법과 각 시료에 대한 최적의 측정조건을 제시하기 때문에 전문가 뿐만 아니라 초급자도 그 동안 어려웠던 박막 고분해능 측정을 가능하게 합니다. 분석 목적에 따라 분말 XRD 또는 박막 고분해능 XRD로 구성할 수 있으며, 3kW 또는 9kW X-선 발생장치 선택이 가능합니다.
- 시료 수평형 고니오미터
- - 고분해능 박막 XRD 및 고출력 XRD에 세계 최초로 시료 수평형 고니오미터 장착
- - 시료가 떨어지거나 휠 염려가 없으며 액상 분석에도 활용 가능
- Guidance 기능
- - 각각의 application에 대한 최적의 광학계 선택, 측정조건 설정, 시료높이 조정 및 측정까지 자동 진행
- - 광학계 자동인식 기능
- CBO (Cross Beam Optics)기술
- - Rigaku 특허 기술인 CBO에 의해 분석목적에 적합한 입사빔을 자유롭게 선택 가능
- - 광학계 탈부착 없이 다양한 입사빔를 사용자가 선택 가능
- - Bragg Brentano focusing빔, 평행빔, SAXS빔, Micro빔 선택으로 다양한 응용분석 용이
- In-plane 측정
- - 별도의 In-plane scan arm 장착으로 시료를 움직이지 않고 실질적인 In-plane측정 가능
- - In-plane 측정으로 시료면에 수직한 결정면에 대한 회절 정보를 얻을 수 있으며 특히 박막 표면구조 평가에 효과적
- 고출력 X-선 발생장치 선택가능
- - 신개발 9KW 고출력 X-선 발생장치 선택 구성으로 고속, 고강도 측정 가능
- - 미량분석 및 극박막, 유기박막 시료 대응
- 응용 분야
- - 분말 회절분석 : 정성, 정량, 결정화도, 격자상수, 결정자 사이즈/격자변형평가, Rietveld, 구조해석 등
- - 고분해능 박막 응용 : In-plane, XRR, HR-Rocking curve, 박막두께, 밀도, 조성 분석, 방위 및 배향, 결정성 평가 등
- - 소각산란측정 : Particle & Pore size 분포 해석 (나노분말, 박막)
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- 고객지원팀
- kits@koreaits.com
- Phone : 02-421-4022
- 교육일정
- Phase analysis of thin film, XRR, Epitaxy layer 분석
- 04/21 ~ 04/22
- 수은분석기 원리 및 응용
- 05/15 ~ 05/15
- 열분석기 원리 및 응용
- 06/04 ~ 06/04
- XRF 원리 및 software 운용법과 시료 전처리
- 06/16 ~ 06/17
- 잔류응력 및 극점도 교육
- 07/21 ~ 07/22
- PDXL 심화 교육
- 09/08 ~ 09/08
- XRF 원리 및 software 운용법과 시료 전처리
- 09/22 ~ 09/23
- XRD 원리, 분말 응용 및 PDXL 운용법
- 10/27 ~ 10/28
- XRF 원리 및 software 운용법과 시료 전처리
- 11/10 ~ 11/11
- 수은분석기 원리 및 응용
- 11/13 ~ 11/13
