Product
Home > Product > XRD
XRD
XRTmicron
  • 요약정보
  • Specification
  • 고객지원
X-선 표면 이미지 측정 장치
(X-Ray Topographic imaging system)


- Microfocus high-brilliance rotating anode
- 다양한 옵틱 지원
- 투과법 및 반사법 지원 샘플 스테이지
- 고분해능 CCD camera
- 결정 결함 분석 소프트웨어
- 샘플 운송 로보트 시스템


새롭게 개발된 High-brilliance microfocus X-ray source와 고감도 고분해능 CCD 검출기를 채용한 XRTmicro은 단결정 결정 결함을 기존대비 10배 이상 빠르게 분석할 수 있습니다.
 투과법을 사용한 내부의 결정 결함(예: dislocation)등의 분석 및 반사법을 사용한 결정 표면의 결함(dislocation) 또는 EPI Layer의 결함을 분석하는 최적의 설비로 개발되었습니다.

 
제품특징

- Mirofocus high-brilliance rotating anode
- Multi-layer parallel beam collimator
- Crystal collimator
- Dual-purpose goniometer: transmission and reflection method지원
- High-resolution X-ray CCD camera
- Crystal defect analysis software
- Sample loader function