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XRF
ZSX Primus
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하면 조사 순차분석형 형광 X-선 분석장치

- 액체 시료 분석을 위한 하면 조사 방식 XRF
- X-ray generator : 4kW (60kV, 150mA)
- Ultra thin Be window (30μm)
- Micro mapping (r-θ stage, CCD 장착)
- F-PC 심선 자동세척기능 (특허)   
- Automatic pressure control 기능 장착

 

ZSX Primus는, 액체 분석에 최적인 하면 조사형의 형광 X-선 분석장치입니다. 48 X-Y 시료 자동교환기를 채택 , 종전 장비에 비하여 본체 설치 면적 약 50% 감소시킨 장비 입니다. 또 장비의 뒷면의 일상 수리공간이 필요 없으며 CCD 카메라를 장착, 화면상에서 분석 위치를 지정, 성분의 분포도 등을 측정할 수 있습니다. 소프트웨어는, 초보자라도 고도의 분석을 간단하게 실시할 수 있도록 Flow bar형식의 기능으로 구성되어 있습니다. 신 분광 결정의 개발로 B, C 등 초경원소의 고감도화로 종래 분광 결정대비 2배 이상의 강도증가를 실현했습니다.

 

 
제품 특징

- 100μm의 Mapping  분해능으로, PCB 기판상의 배선이나 편석 등 시료의 미소부위 분석이 가능합니다. 

- 냉각수량 저감(종래의1/2이하), PR가스량 저감(종래의1/10).

- r-θ구동의 시료 스테이지 채용으로 측정 포인트에 의한 X선 강도 변화가 생기지 않습니다.

- 액상 분석용을 위한 He purge 기능및 He gas 소모량의 최소화한 장비 구조