Product
Home > Product > XRF
XRF
TXRF 3760
  • 요약정보
  • Specification
  • 고객지원
- 분석 원소 : 11Na ~ 92U
- Wafer size : up to 200mm
- 경원소 검출 가능 : Al, Mg, Na 분석 가능
- X-Y-θ stage 적용 (회절 peak의 간섭제거)
- 18kW high power generator
- 환경, 반도체 등의 극미량 오염 원소 분석 (ppt 단위)
 
제품 특징

- Silicon wafer, sapphire wfer, glass wafer 등 적용 가능
- X-Y-Θ의 시료 Stage 장치(특허 출원중)
- 3개의 Monochromator 장치와 robot에 의한 Wafer handling
- Compact한 rotating anode X-선 발생 장치
- Sweeping software 를 이용한  wafer 전면 mapping 측정 가능
- 탁월한 interface
- PL-Link 가능