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XRF
Wafer/Disk Analyzer 3650
  • 요약정보
  • Specification
  • 고객지원
반도체용 형광 X-선 분석장치
- Wafer size : up to 8 inch
- Multi layer film analysis
- 동시 분석 film thickness and composition
- Multi point measurement
- 20원소 동시 측정
- GEM 대응
 
제품 특징

- 분석 원소: 4Be~92U
- 200mm까지의 반도체 공정용
- BPSG, Wsix, 강유전체막(PZT, BST등의  두께 및 조성등의 동시 분석
- BPSG, SiO2, Si3N4, Doped polySi(B, P, N, As), Wsix, Al-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST, SBT, MRAM 등  
- 금속막: W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru 등  
- 자기 디스크: CoCrTa, CoCrPt, DLC, NiP 등  
- 광학 자기 디스크: Tb-FeCo 등  
- 자기 헤드: GMR, TMR 등