Product
Home > Product > XRF
XRF
TXRF 3800e
  • 요약정보
  • Specification
  • 고객지원

TXRF 3800e
- Sealed tube 를 적용하여 기존 high power TXRF 보다 저렴
- Sapphire application 및 소형 시료 측정에 적합
- 반도체, 환경 등의 극미량 오염 원소 분석 

 
제품 특징

- Silicon wafer, sapphire wfer, glass wafer 등 적용 가능
- X-Y-Θ의 시료 Stage 장치(특허 출원중)
- 2개의 Monochromator 장치와 robot에 의한 Wafer handling
- Seal tube type 적용
- Sweeping software 를 이용한  wafer 전면 mapping 측정 가능
- 탁월한 interface
- PL-Link 가능