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    X-선 표면 이미지 측정 장치 XRTmicron
  • Microfocus high-brilliance rotating anode
  • 다양한 옵틱 지원
  • 투과법 및 반사법 지원 샘플 스테이지
  • 고분해능 CCD camera
  • 결정 결함 분석 소프트웨어
  • 샘플 운송 로보트 시스템
  • X-선 표면 이미지 측정 장치
    XRTmicron
  • Microfocus high-brilliance rotating anode
  • 다양한 옵틱 지원
  • 투과법 및 반사법 지원 샘플 스테이지
  • 고분해능 CCD camera
  • 결정 결함 분석 소프트웨어
  • 샘플 운송 로보트 시스템
  • Product Features 제품특징

    XRTmicron

    새롭게 개발된 High-brilliance microfocus X-ray source와 고감도 고분해능 CCD 검출기를 채용한 XRTmicro은 단결정 결정 결함을 기존대비 10배 이상 빠르게 분석할 수 있습니다.
    투과법을 사용한 내부의 결정 결함(예: dislocation)등의 분석 및 반사법을 사용한 결정 표면의 결함(dislocation) 또는 EPI Layer의 결함을 분석하는 최적의 설비로 개발되었습니다.

    • Mirofocus high-brilliance rotating anode
    • Multi-layer parallel beam collimator
    • Crystal collimator
    • Dual-purpose goniometer: transmission and reflection method지원
    • High-resolution X-ray CCD camera
    • Crystal defect analysis software
    • Sample loader function
    Specifications 제품사양
    Specifications
    X-ray source( High -brilliance microfocus X-ray source)Maximum rated output: 1.2kW
    Rated tube voltage: 20~50kV (1kV step)
    rated tube current: 10~30mA (1mA step)
    GoniometerType: theta-theta sample horizontal type high precision goniometer
    Drive axis: theta-s, theta-d
    Goniometer radius: 700mm
    Sample stageX axis: adjustment range= -150mm ~ +150mm (minimum step width: 0.005mm)
    Y axis: adjustment range= -150mm ~ +150mm (minimum step width: 0.005mm)
    Speed: 0.1 ~16mm/s
    φ axis: adjustment range= -360˚ ~ +360˚ (minimum step width: 0.01˚)
    High-sensitivity CCD-based X-ray detectorArray size: 3326 pixel X 2504 pixel
    Pixel size: 5.4 um×5.4 um
    Field of view: 18.0 mm×13.5 mm
    Digital resolution: 16 bit
    Ultra High-resolution X-ray cameraPixel size: 2.16um
    Window size: 7.2mm x 5.4mm (3326 pixels x 2504 pixels)
    Scintillation counterScintillation counter: NaI
    HV: 0~1500V with external control function
    PHA: Baseline, window with external control function
    Linear count: More than 700,000 CPS
    Sample loader unitCassette: specified cassette out of 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch and 12 inch
    Loader robot: TAZUMO robot system, Model type MTSR4
    Sample aligner: TAZUMO, Model type MAF
    Control PCCompatible with IBM PC/AT
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