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Microfocus high-brilliance rotating anode
다양한 옵틱 지원
투과법 및 반사법 지원 샘플 스테이지
고분해능 CCD camera
결정 결함 분석 소프트웨어
샘플 운송 로보트 시스템
X-선 표면 이미지 측정 장치 XRTmicron
Microfocus high-brilliance rotating anode
다양한 옵틱 지원
투과법 및 반사법 지원 샘플 스테이지
고분해능 CCD camera
결정 결함 분석 소프트웨어
샘플 운송 로보트 시스템
X-선 표면 이미지 측정 장치
XRTmicron
Product Features
제품특징
XRTmicron
새롭게 개발된 High-brilliance microfocus X-ray source와 고감도 고분해능 CCD 검출기를 채용한 XRTmicro은 단결정 결정 결함을 기존대비 10배 이상 빠르게 분석할 수 있습니다.
투과법을 사용한 내부의 결정 결함(예: dislocation)등의 분석 및 반사법을 사용한 결정 표면의 결함(dislocation) 또는 EPI Layer의 결함을 분석하는 최적의 설비로 개발되었습니다.
- Mirofocus high-brilliance rotating anode
- Multi-layer parallel beam collimator
- Crystal collimator
- Dual-purpose goniometer: transmission and reflection method지원
- High-resolution X-ray CCD camera
- Crystal defect analysis software
- Sample loader function
Specifications
제품사양
| Specifications | ||
| X-ray source( High -brilliance microfocus X-ray source) | Maximum rated output: 1.2kW | |
| Rated tube voltage: 20~50kV (1kV step) | ||
| rated tube current: 10~30mA (1mA step) | ||
| Goniometer | Type: theta-theta sample horizontal type high precision goniometer | |
| Drive axis: theta-s, theta-d | ||
| Goniometer radius: 700mm | ||
| Sample stage | X axis: adjustment range= -150mm ~ +150mm (minimum step width: 0.005mm) | |
| Y axis: adjustment range= -150mm ~ +150mm (minimum step width: 0.005mm) | ||
| Speed: 0.1 ~16mm/s | ||
| φ axis: adjustment range= -360˚ ~ +360˚ (minimum step width: 0.01˚) | ||
| High-sensitivity CCD-based X-ray detector | Array size: 3326 pixel X 2504 pixel | |
| Pixel size: 5.4 um×5.4 um | ||
| Field of view: 18.0 mm×13.5 mm | ||
| Digital resolution: 16 bit | ||
| Ultra High-resolution X-ray camera | Pixel size: 2.16um | |
| Window size: 7.2mm x 5.4mm (3326 pixels x 2504 pixels) | ||
| Scintillation counter | Scintillation counter: NaI | |
| HV: 0~1500V with external control function | ||
| PHA: Baseline, window with external control function | ||
| Linear count: More than 700,000 CPS | ||
| Sample loader unit | Cassette: specified cassette out of 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch and 12 inch | |
| Loader robot: TAZUMO robot system, Model type MTSR4 | ||
| Sample aligner: TAZUMO, Model type MAF | ||
| Control PC | Compatible with IBM PC/AT | |
