PRODUCT

  • PRODUCT
  • XRF
  • BACK
    반도체용 전반사식 XRF TXRF 3760
  • 분석 원소 : 11Na ~ 92U
  • Wafer size : up to 200mm
  • 경원소 검출 가능 : Al, Mg, Na 분석 가능
  • X-Y-θ stage 적용 (회절 peak의 간섭제거)
  • 18kW high power generator
  • 환경, 반도체 등의 극미량 오염 원소 분석 (ppt 단위)
  • 반도체용 전반사식 XRF
    TXRF 3760
  • 분석 원소 : 11Na ~ 92U
  • Wafer size : up to 200mm
  • 경원소 검출 가능 : Al, Mg, Na 분석 가능
  • X-Y-θ stage 적용 (회절 peak의 간섭제거)
  • 18kW high power generator
  • 환경, 반도체 등의 극미량 오염 원소 분석 (ppt 단위)
  • Product Features 제품특징

    TXRF 3760

    분석 원소 : 11Na ~ 92U
    Wafer size : up to 200mm
    경원소 검출 가능 : Al, Mg, Na 분석 가능
    X-Y-θ stage 적용 (회절 peak의 간섭제거)
    18kW high power generator
    환경, 반도체 등의 극미량 오염 원소 분석 (ppt 단위)

    • Silicon wafer, sapphire wfer, glass wafer 등 적용 가능
    • X-Y-Θ의 시료 Stage 장치(특허 출원중)
    • 3개의 Monochromator 장치와 robot에 의한 Wafer handling
    • Compact한 rotating anode X-선 발생 장치
    • Sweeping software 를 이용한 wafer 전면 mapping 측정 가능
    • 탁월한 interface
    • PL-Link 가능
    Specifications 제품사양
    Specifications
    Measuring element 11Na ~ 92U
    X-ray generator Max 40kV, 1kV steps
    Max 450mA, 1mA steps
    X-ray tube Rotating anode type, W target
    W filament
    Turbo molecular pump (TMP) + back pump(optional)
    X-ray optic 3 crystal monochromator, programmable changer
    Beam 1 : W-Ma (1.778keV)
    Beam 2 : W-Lb (9.67keV)
    Beam 3 : H.E (24keV)
    Vacuum pump Dry pump, 1300 litter/min
    Sample size 4 to 8" wafer
    Sample driving system X Y θ stage
    Incident angle Φ = 0 to 1.5 degrees
    Height adjustment z = 0 to 3mm
    Wafer transfer system Transfer robot systemby vacuum
    Automatic cassette elevator 4 to 8"
    X-ray detector Si(Li) solid state detector
    Size : 80mm2 (about 10mm diameter)
    Detector window : 12.5um thick Be
    Liquid nitrogen tank : 7.5L
    Analyzing area 20mm diameter (10mm FWHM)
    Control system Personal computer, windows
    Cooling system Cooling capacity 17,200kcal
    Circulating water quality : DI water
    Circulating water flow late : 20 litter / min or more
    Circulating water temperture : 20 ± 2 deg
    Circulating water pressure : 3.5kgf / cm2
    Loading system SMIF load port
    Related 관련제품