ELS-ORCA

LS-ORCA는 연구개발(R&D) 분야의 다양한 요구사항에 맞춰 구성할 수 있는 플랫폼을 기반으로 최첨단 성능을 제공합니다. 자동 포커싱, 다이내믹 포커스 보정, 최대 50 kV의 가속 전압 지원 등 다양한 옵션을 선택할 수 있어 연구 목적과 애플리케이션에 맞는 최적의 시스템 구성이 가능합니다.

또한 빔 리타딩(Beam Retarding) 기능을 갖춘 고해상도 SEM 이미징 옵션을 통해 낮은 가속 전압에서도 고품질의 시료 관찰이 가능합니다. 이를 통해 사용자는 CAD 레이아웃과 리소그래피 패턴을 정밀하게 정렬하고 보정할 수 있습니다.