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1) SEM 내부에서 사용하는 AFM으로 SEM과 AFM의 장점을 함께 이미징 가능
2) SEM의 2D image에 AFM의 3D topography를 더해 보다 정확한 3D image 구현
3) Sub-nano 수준으로 topography 측정
4) Conductive-AFM 기능을 사용하여 샘플 표면의 저항 mapping 가능
5) Air-free option을 사용해 산화가 쉬운 샘플을 공기 접촉 없이 로딩 가능
AFM-in-SEM LiteScope
1) SEM 내부에서 사용하는 AFM으로 SEM과 AFM의 장점을 함께 이미징 가능
2) SEM의 2D image에 AFM의 3D topography를 더해 보다 정확한 3D image 구현
3) Sub-nano 수준으로 topography 측정
4) Conductive-AFM 기능을 사용하여 샘플 표면의 저항 mapping 가능
5) Air-free option을 사용해 산화가 쉬운 샘플을 공기 접촉 없이 로딩 가능
AFM-in-SEM
LiteScope
Product Features
제품특징
LiteScope
SEM(Scanning Electron Microscope)내에서 함께 사용 가능한 AFM(Atomic Force Microscope) 장비는 분석에 보다 다양한 가능성을 열어줍니다. SEM의 고해상도 2D 이미지에 AFM의 높은 해상도를 더해 고품질의 3D 이미지 구현은 물론, AFM의 기능인 C-AFM(Conductive), MFM(Magnetic domain imaging), CPEM(Correlative Probe and Electron Microscopy), PFM(Piezoelectric domain imaging) 등을 in-situ로 다양하게 분석할 수 있습니다.
또한, 배터리 분야에서의 효과적인 활용을 위해 Air-free(대기비노출)로 샘플 로딩이 가능하다는 장점이 있습니다.
Specifications
제품사양
| Specification | LiteScope | |
| Dimension XYZ | 118mm x 84mm x 35.7-48.8mm | |
| Total weight | 460g | |
| Vacuum working range | 10e5 Pa to 10e-5 Pa | |
| Operating temperature | +10℃ to +35℃ | |
| Maximal scanned sample area XYZ | 21mm x 11mm x 8mm | |
| Scan range in open loop XYZ(±10%) | 100um x 100um x 20um | |
| Scan range in closed loop XYZ | 80um x 80um x 16um | |
| Resolution XYZ up to | 0.2nm x 0.2nm x 0.04nm | |
| Maximum sample height | 8mm | |
| Maximum sample weight | 100g | |
| Measurement modes | ||
| Mechanical | AFM Topography, Energy dissipation, Phase imaging, Nanoindentation | |
| Electrical | C-AFM, KPFM, EFM, STM | |
| Magnetic | MFM | |
| Electro-mechanical | PFM | |
| Spectroscopy | F-z curves, I-V curves | |
| Crrelative | CPEM | |
