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  • 반도체 공정/검사 장비
  • 반도체 공정/검사 장비

    반도체 공정/검사 장비

    1. 이온빔 원자층 식각 장비
      Atomic layer Etching Load Lock type
    2. 이온빔 스퍼터 장비
      Ion Beam Sputtering Cluster Tool
    3. 이온빔 식각/스퍼터 장비
      Z-Flex System
    4. High throughput LL 식각 장비
      Planetary Etch System (PSIBE)
    5. Laboratory Alloy And Nanolayer System (LANS)
      Laboratory Alloy And Nanolayer System (LANS)
    6. Biased Target 스퍼터 장비
      Infinity Biased Target Sputtering System