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글로브 박스에서 SEM/FIB로 Air-Free(inert gas) 또는 진공으로 이송 가능
글로브 박스 및 FIB 그리드 홀더와 같은 부속품에 대한 원격 제어 가능
낮은 높이과 작은 크기로 SEM/FIB 폴피스, 프로브 및 디텍터에 간섭하지 않고 모듈을 52도 이상 기울일 수 있음
샘플을 15mm 올릴 수 있는 엘레베이터 포함
Heating, 온도 측정, electro chemistry 또는 biasing 실험을 위한 커스터마이징 가
공기 비접촉 이송 홀더 Air-Free Transfer Module for SEM/FIB
글로브 박스에서 SEM/FIB로 Air-Free(inert gas) 또는 진공으로 이송 가능
글로브 박스 및 FIB 그리드 홀더와 같은 부속품에 대한 원격 제어 가능
낮은 높이과 작은 크기로 SEM/FIB 폴피스, 프로브 및 디텍터에 간섭하지 않고 모듈을 52도 이상 기울일 수 있음
샘플을 15mm 올릴 수 있는 엘레베이터 포함
Heating, 온도 측정, electro chemistry 또는 biasing 실험을 위한 커스터마이징 가
공기 비접촉 이송 홀더
Air-Free Transfer Module for SEM/FIB
Product Features
제품특징
Air-Free Transfer Module for SEM/FIB
모듈은 SEM stage에 장착할 수 있는 작은 챔버로 구성됩니다.
챔버는 원격으로 개폐할 수 있으며, 이를 통해 공기에 노출되지 않고 SEM/FIB로 이송할 수 있습니다.
SEM 분석, in-situ 실험 또는 FIB 샘플 lift out을 한 뒤, 보관을 위해 다시 글로브 박스로 옮기거나 다른 실험 (X-ray, TEM 등)을 위한 stage로 이동하기 위해 챔버를 Ar 또는 진공으로 밀봉할 수 있습니다.
