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Corial 200 series는 R&D 및 200mm 웨이퍼 생산업체를 위해 설계된 장비로 RIE, ICP-RIE, ICP-CVD, PECVD 공정기술을 사용하여 고객의 요구사항을 충족시키는 Etching 및 증착 장비입니다.
불량분석용 8인치 웨이퍼 식각장비 Corial 200FA RIE
Corial 200 series는 R&D 및 200mm 웨이퍼 생산업체를 위해 설계된 장비로 RIE, ICP-RIE, ICP-CVD, PECVD 공정기술을 사용하여 고객의 요구사항을 충족시키는 Etching 및 증착 장비입니다.
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불량분석용 8인치 웨이퍼 식각장비
Corial 200FA RIE