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분석 원소 : 4Be-92U
대형 시료 분석 : 최대 직경 40mm x 두께 50mm x 무게 30kg
Sample Adapter System : 다양한 크기의 샘플 적용 가능
Measurement spot : 30mm to 0.5mm diameter
Micro Mapping (r-θ stage, CCD 장착)
대형 시료를 위한 순차 분석형 X-선 형광 분석장치 ZSX Primus400
분석 원소 : 4Be-92U
대형 시료 분석 : 최대 직경 40mm x 두께 50mm x 무게 30kg
Sample Adapter System : 다양한 크기의 샘플 적용 가능
Measurement spot : 30mm to 0.5mm diameter
Micro Mapping (r-θ stage, CCD 장착)
대형 시료를 위한 순차 분석형 X-선 형광 분석장치
ZSX Primus400
Product Features
제품특징
ZSX Primus400
순차 분석형 WD-XRF인 ZSX Primus400는 크고 무거운 시료를 분석할 수 있도록 설계된 장비로, 최대 직경 400mm, 두께 50mm, 무게 30kg의 샘플을 수용할 수 있습니다.
스퍼터링 타겟, 마그네틱 디스크를 분석하거나 대형 시료의 다층 박막의 두께 및 원소 분석에 적합한 장비입니다.
- 맞춤형 샘플 어댑터 시스템으로 다양한 샘플 크기 및 모양을 적용할 수 있습니다.
- CCD 카메라를 통해 소프트웨어 내에서 분석 영역을 볼 수 있습니다.
- 넓은 조성 범위(ppm~수십%)와 두께(Å~mm)를 분석할 수 있습니다.
- 산업 표준 SEMI, CE marking를 준수합니다.
Specifications
제품사양
| X-ray tube | end window type Rh target 4kW or 3kW |
| X-ray generator | 4kW, 60kV-150mA |
| Sample size | 400mm dia. x 50mm height maximum (30kg or less) |
| Primary beam filter | 4 filter (Al125, Al25, Ni40, Ni400) |
| Diaphragm | 5 position Automatic exchanger 30, 20, 10, 1 and 0.5 mm |
| Crystal exchanger | 10 position automatic exchanger |
| Detector | Heavy element : SC Light element : F-PC or S-PC |
| Sample adapter | For 50mm dia. sample, possible to load 13 samples simultaneously, including 13 30mm dia. Masks For 3.5” magneto-optical disk For 3.5” magnetic disk For 2” For 300mm target Special sample attachment (4-claw type) Multi-attachment (B) (inserting type) Sample retainer (Al cup, 50mm dia.) Other adapters for other sizes and shapes of sample. |
| Function | Automatic Pressure Controller |
| Mapping system | |
| Attenuator In-out automatic exchanger (1/10) |
