SmartLab X-선 회절 분석기

고분해능 박막분석 및 분말 회절 분석 대응

시료 수평형 고분해능 고니오미터

Guidance software에 의한 자동 측정 기능

CBO(Cross Beam Optics) 장착 가능

In-plane 측정 가능

9kW 고출력 X-선 발생장치 선택 가능

MA-3000 수은분석기

전처리 불필요

고체 액체 기체 시료 중의 수은이 단시간에 측정 가능

신형 광학를 채용하여 초 고감도, 넓은 범위
(0.001 ~ 70,000 ng)를 실현

첨가제 불필요로 조작성을 대폭 향상

효율화와 높은 경제성을 실현

특허 받은 Catalyst 사용

ZSX Primus IV X-선 형광분석기

순차 분석형 형광 X-선 분석장치(상면조사형)

분석원소 : 4Be ~ 92U

X-ray generator : 4kW (60kV, 150mA)

Ultra thin Be windows (30μm)

Micro mapping (r-θ stage, CCD 장착)

New Synthetic Multi-layer Crystal
(30%이상 intensity 향상)

High sensitive curved crystals

STA8122 열분석기

Accurate compensation on horizontal
differential triple-coil balance

Compact furnace greatly speeds up
heating and cooling

단계적 등온 분석 (SIA) 모드

CRC (정률 제어) 모드

표준 모델 : Ambient to 1100 ° C

고온 모델 : Ambient to 1500 ° C

샘플 관찰 모델 : Ambient to 1000 ° C

Corial D350L PECVD 플라즈마
화학기상증착기

300mm 웨이퍼까지 적용 가능

Mechanical cleaning이 필요 없는 Design

High uptime

Particle free process

MEMS, LEDs&OLEDs, Photomask,
Wireless devices 및 Power semiconductor 등
다양한 공정에 적용 가능

NEX-DE VS ED X선 형광분석기

Na(11) ~ U(92) 까지 다원소 동시분석

대형시료용 Chamber
(30cm diameter x 10cm tall)

Rigaku의 정확한 정량, 정성분석 소프트웨어

고체, 액체, powder등 다양한 재질 분석 가능