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    Downstream Plasma Cleaner - MCA Downstream Plasma Cleaner - MCA
  • Downstream Plasma를 사용해 sample 손상 없이 plasma clean 가능
  • Carbon 오염을 기체 형태로 바꾼 뒤 바로 외부로 방출
  • 5분 이내의 세척 주기로 오염 제거 가능
  • 높은 ROI(Return of Investment)
  • 50W기준 1.5nm/min의 오염 제거 속도
  • ex-situ/in-situ를 아우르는 사용 범위 지원
  • 다양한 chamber에 손쉽게 적용 가능
  • High vacuum/Ultra high vacuum 사용 가능
  • 광학현미경을 사용해 Plasma condition에서 sample 관찰 가능 (Chiaro)
  • Downstream Plasma Cleaner - MCA
    Downstream Plasma Cleaner - MCA
  • Downstream Plasma를 사용해 sample 손상 없이 plasma clean 가능
  • Carbon 오염을 기체 형태로 바꾼 뒤 바로 외부로 방출
  • 5분 이내의 세척 주기로 오염 제거 가능
  • 높은 ROI(Return of Investment)
  • 50W기준 1.5nm/min의 오염 제거 속도
  • ex-situ/in-situ를 아우르는 사용 범위 지원
  • 다양한 chamber에 손쉽게 적용 가능
  • High vacuum/Ultra high vacuum 사용 가능
  • 광학현미경을 사용해 Plasma condition에서 sample 관찰 가능 (Chiaro)
  • Product Features 제품특징

    Downstream Plasma Cleaner - MCA

    ▶ IBSS Group社의 Plasma cleaner는 Downstream Plasma를 이용하여 Sample 손상 없이 Plasma clean
    ▶ Carbon Contamination을 기체 형태로 바꾼 뒤 바로 외부로 방출하며, 5분 이내의 세척 주기로 오염 제거
    ▶ 50watts 기준 1.5nm/min의 오염 제거 속도
    ▶ QWK-SWITCH 기술을 이용해 다양한 Chamber에 손쉽게 제거 및 적용 가능 (EX-situ to IN-situ)

    High vacuum / Ultra High vacuum의 사용 환경에 따라 메인 module이 두가지 model로 구분되며,
    사용 용도에 따라 분류됩니다.

    MCA(Mobile Cubic Asher) 모델은 TEM, SEM sample 및 sample holder 등 기타 여러가지 소형 물품을 chamber 내에서 clean 할 수 있는 이동식 Plasma cleaner 입니다.

    Specifications 제품사양
    Specifications
    MCA1/8" N2 vent
    Up to 99 Watts at 13.56 MHz
    Down to 70 mTorr
    Shutoff leakage - 1E-8 Torr l/s, 1.3E-9 Pa-m3/s
    Opto-isolated COM port for Windows OS
    Up to 3 TEM Holders
    3-Position toggle (Pump-Off-Vent)
    7” Touchscreen Control Panel
    Qwk-SwitchTM Source mounting to transfer to SEM
    100-230 VAC, 50/60 Hz, Power consumption 500VA at 50 Ohms
    HxWxD 36 x 102 x 51 cm / 40” x 20” x 14”
    Viewport Al chamber 7" x 7"
    Weight 120lbs / 55 kg
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