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    Nanoprobing SEM Solutions Nanoprobing SEM Solutions
  • 직관적인 in situ 저전류 측정
  • 최소 5nm의 Probe tip을 이용하여 전기적 특성 및 불량 분석을 위한 결함 위치 파악
  • 최대 8개의 microBot(miBot) 독립적으로 사용 가능
  • Probe tip size : 10um – 5nm
  • 영구 변형이나 전용 현미경 없이 모든 종류의 SEM/FIB/Dual Beam에서 사용 가능
  • EBIC / EBAC 등 다양한 application 사용 가능
  • Nanoprobing SEM Solutions
    Nanoprobing SEM Solutions
  • 직관적인 in situ 저전류 측정
  • 최소 5nm의 Probe tip을 이용하여 전기적 특성 및 불량 분석을 위한 결함 위치 파악
  • 최대 8개의 microBot(miBot) 독립적으로 사용 가능
  • Probe tip size : 10um – 5nm
  • 영구 변형이나 전용 현미경 없이 모든 종류의 SEM/FIB/Dual Beam에서 사용 가능
  • EBIC / EBAC 등 다양한 application 사용 가능
  • Product Features 제품특징

    Nanoprobing SEM Solutions

    직관적인 in situ 저전류 측정
    최소 5nm의 Probe tip을 이용하여 전기적 특성 및 불량 분석을 위한 결함 위치 파악
    최대 8개의 microBot(miBot) 독립적으로 사용 가능
    Probe tip size : 10um – 5nm
    영구 변형이나 전용 현미경 없이 모든 종류의 SEM/FIB/Dual Beam에서 사용 가능
    EBIC / EBAC 등 다양한 application 사용 가능

    • Solution Features

      Tilted angles - Compatible with operations at FIB tilt angle (54°), making possible simultaneous FIB circuit editing and nanoprobing.

      Magnetic immersion - Compatible with high resolution imaging of electron microscopes immersion-lens columns.

      Short working distances - Probing at low kV (typ. <500V) can be achieved thanks to the capability to work at short working distances (<2mm)

    • Fast installation & safe storage

      Save time

      Shorter time to data

      No need for a dedicated microscope

      Minimize contamination

      SEM chamber

      Nanoprobing system

      Probes -> sharp probes more sensitive to oxidation and contamination

    • Integrations with SEMs, FIBs & Dual Beams

      Compatible with most of the SEM, FIB, Dual Beams(even with the smallest chambers)

      Fast installation/removal of the system: no need for a dedicated SEM (typ < 5 min)

      Air-lock/Load-lock compatibility

    Specifications 제품사양
    Specifications
    Nanoprobing SEM Solutions최소 5nm 반경의 팁을 가진 텅스텐 프로브 니들
    직관적인 포지셔닝 조정을 위한 독특한 모바일 모션 테크놀로지의 Micro Robot
    훌륭한 Signal-to-noise 비율 및 저전류 측정용 독립 케이블
    짧은 Working distance 및 Low voltage 이미징 가능
    높이(Z축) 조절이 가능한 Sample stage(optional)
    큰 샘플을 위한 Sample stage(optional)
    가장 작은 SEM 진공 챔버와도 호환 가능한 가볍고 컴팩트한 플랫폼 
    SM100 / Φ 100mm (4-Bot) Stage mounted type, Sample size up to ~25mm
    SM125 / Φ 125mm (8-Bot) Stage mounted type, Sample size up to ~50mm
    LL10 / Φ 100mm (4-Bot) Load-lock type, Sample size up to ~25mm
    LL11 / Φ 112mm (8-Bot) Load-lock type, Sample size up to ~38mm
    Application 어플리케이션
    Video 관련영상
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