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Piezo electric을 사용해 Micro-Nanometer 단위로 4축 움직임이 가능한 miBot
쉽고 간편하게 다양한 tip 교체, 사용
높은 기계적 안정성과 0에 수렴하는 drift
간단하고 직관적인 동작 방법
광학 현미경, 형광 현미경, AFM 등의 장비에 모두 적용 가능
Die-level, Wafer-level에서 사용 가능한 station(optional)
마이크로 스케일 탐침 장비 Microprobing OM Solutions
Piezo electric을 사용해 Micro-Nanometer 단위로 4축 움직임이 가능한 miBot
쉽고 간편하게 다양한 tip 교체, 사용
높은 기계적 안정성과 0에 수렴하는 drift
간단하고 직관적인 동작 방법
광학 현미경, 형광 현미경, AFM 등의 장비에 모두 적용 가능
Die-level, Wafer-level에서 사용 가능한 station(optional)
마이크로 스케일 탐침 장비
Microprobing OM Solutions
Product Features
제품특징
Microprobing OM Solutions
휴대용이성
1) miBase BS-43에 miBot을 매우 간편하여 설치하고 사용할 수 있어, 공용 장비를 사용하는 실험실에 이상적임
2) 최대 5cm (2”) 직경의 샘플 수용 가능
컴팩트한 사이즈
1) 초소형의 miBot 사이즈로 장비와 완벽한 일체화
2) 다양한 크기 및 모양이 가능한 컴팩트한 스테이지
저전류 측정 나노프로빙
1) 100fA/V 의 낮은 누설 전류
2) 최대 4개의 프로브를 독립적으로 포지셔닝 가능
3) 작은 진공 챔버를 가진 현미경에도 사용 가능한 컴팩트한 디자인의 스테이지
Specifications
제품사양
| Specifications | ||
| 휴대용이성 | miBase BS-43에 miBot을 매우 간편하여 설치하고 사용할 수 있어, 공용 장비를 사용하는 실험실에 이상적임 | |
| 최대 5cm (2”) 직경의 샘플 수용 가능 | ||
| 컴팩트한 사이즈 | 초소형의 miBot 사이즈로 장비와 완벽한 일체화 | |
| 다양한 크기 및 모양이 가능한 컴팩트한 스테이지 | ||
| 저전류 측정 나노프로빙 | 100fA/V 의 낮은 누설 전류 | |
| 최대 4개의 프로브를 독립적으로 포지셔닝 가능 | ||
| 작은 진공 챔버를 가진 현미경에도 사용 가능한 컴팩트한 디자인의 스테이지 | ||
Video
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