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    miBot™ miBot™
  • 높은 기계적 및 열적 안정성으로 긴 시간 동안 0˚에서 55˚에서 안정적인 위치를 보장합니다.
  • 어느 곳에나 설치가 가능해 다양한 실험 설정 및 샘플에 즉시 적응할 수 있습니다.
  • 샘플 및 프로브 손상 위험을 줄이고 간편하게 컨트롤이 가능해 측정에 빠르게 적용할 수 있습니다.
  • 저가속 전압 및 짧은 Working Distance에서 샘플과 접촉하기 위해 마그네틱 렌즈를 사용한 고해상도 영상촬영과 호환됩니다.
  • Centi scale에서 빠른 움직임과 Nano scale에서의 미세한 움직임이 모두 가능합니다.
  • miBot™
    miBot™
  • 높은 기계적 및 열적 안정성으로 긴 시간 동안 0˚에서 55˚에서 안정적인 위치를 보장합니다.
  • 어느 곳에나 설치가 가능해 다양한 실험 설정 및 샘플에 즉시 적응할 수 있습니다.
  • 샘플 및 프로브 손상 위험을 줄이고 간편하게 컨트롤이 가능해 측정에 빠르게 적용할 수 있습니다.
  • 저가속 전압 및 짧은 Working Distance에서 샘플과 접촉하기 위해 마그네틱 렌즈를 사용한 고해상도 영상촬영과 호환됩니다.
  • Centi scale에서 빠른 움직임과 Nano scale에서의 미세한 움직임이 모두 가능합니다.
  • Product Features 제품특징

    miBot™

    miBot™은 Imina Technologies社의 핵심 기술력으로 개발된
    World's most compact 4 degrees of freedom robot 입니다.
    Mobile robot 형태로 동작하는 manipulator로서,
    SEM/FIB/Dual Beam과 같은 진공 장비나
    광학 현미경, 형광 현미경, AFM 등 대기 중에서 모두 작동해
    다양한 application에 적용이 가능합니다.

    • Flexible platform configurations

      Modify the nanoprobing setup by adding or removing robots and by adjusting their position and orientation by hand or in situ. Naturally, adapt to different sample size and geometry in no time.

    • One software to control, measure and report

      Step by step operator assistance to position the nanoprobes, run and process electrical test measurements is provided through the unified and intuitive software application Precisio™.

    • Probe holders: quick tips replacement

      Robot probe holders compatible with industry standard probe tips. Wide range of tungsten probe tips available with tip radius from 1um down to 5nm. Easily exchange probe holders or replace with optical fiber holders.

    • Fast installation and removal

      Install and remove the nanoprobing platform from the SEM chamber in minutes, avoiding the need to dedicate an SEM to the probing system. Compact storage solution is available to minimize ex-situ contamination and maintain the system ready to use.

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