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최대 300mm 웨이퍼까지 안정적으로 24시간 풀가동이 가능하며, RIE, ICP-RIE, PECVD 방식으로 MEMS, LEDs &OLEDs, Photomask, Failure Analysis, wireless devices 및 power semi-conductor 시장에 맞게 대량생산이 용이한 Etching 및 증착 장비입니다.
12인치 웨이퍼 식각장비 Corial 360RL
최대 300mm 웨이퍼까지 안정적으로 24시간 풀가동이 가능하며, RIE, ICP-RIE, PECVD 방식으로 MEMS, LEDs &OLEDs, Photomask, Failure Analysis, wireless devices 및 power semi-conductor 시장에 맞게 대량생산이 용이한 Etching 및 증착 장비입니다.
![](/files/extravar_upload/153/401/002/ca7b1664ebb771b9f209d9cd27f6809b.jpg)
12인치 웨이퍼 식각장비
Corial 360RL