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    Corial 360RL Corial 360RL
  • 최대 300mm 웨이퍼까지 안정적으로 24시간 풀가동이 가능하며, RIE, ICP-RIE, PECVD 방식으로 MEMS, LEDs &OLEDs, Photomask, Failure Analysis, wireless devices 및 power semi-conductor 시장에 맞게 대량생산이 용이한 Etching 및 증착 장비입니다.
  • Corial 360RL
    Corial 360RL
  • 최대 300mm 웨이퍼까지 안정적으로 24시간 풀가동이 가능하며, RIE, ICP-RIE, PECVD 방식으로 MEMS, LEDs &OLEDs, Photomask, Failure Analysis, wireless devices 및 power semi-conductor 시장에 맞게 대량생산이 용이한 Etching 및 증착 장비입니다.
  • Product Features 제품특징

    Corial 360RL

    Corial 360RL RIE 장비는 Load Lock 기능이 탑재되고, 염소화 가스를 이용해 GaAs, GaP, GaN, AlGaN등 lll-V화합물을 에칭할 수 있습니다. 7X4" 또는 3X6" 웨이퍼 사용이 가능합니다.

    Application 어플리케이션
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