Nanoprobing SEM Solutions
직관적인 in situ 저전류 측정
최소 5nm의 Probe tip을 이용하여 전기적 특성 및 불량 분석을 위한 결함 위치 파악
최대 8개의 microBot(miBot) 독립적으로 사용 가능
Probe tip size : 10um – 5nm
영구 변형이나 전용 현미경 없이 모든 종류의 SEM/FIB/Dual Beam에서 사용 가능
EBIC / EBAC 등 다양한 application 사용 가능
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Solution Features
Tilted angles - Compatible with operations at FIB tilt angle (54°), making possible simultaneous FIB circuit editing and nanoprobing.
Magnetic immersion - Compatible with high resolution imaging of electron microscopes immersion-lens columns.
Short working distances - Probing at low kV (typ. <500V) can be achieved thanks to the capability to work at short working distances (<2mm)
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Fast installation & safe storage
Save time
Shorter time to data
No need for a dedicated microscope
Minimize contamination
SEM chamber
Nanoprobing system
Probes -> sharp probes more sensitive to oxidation and contamination
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Integrations with SEMs, FIBs & Dual Beams
Compatible with most of the SEM, FIB, Dual Beams(even with the smallest chambers)
Fast installation/removal of the system: no need for a dedicated SEM (typ < 5 min)
Air-lock/Load-lock compatibility
| Specifications | ||
| Nanoprobing SEM Solutions | 최소 5nm 반경의 팁을 가진 텅스텐 프로브 니들 | |
| 직관적인 포지셔닝 조정을 위한 독특한 모바일 모션 테크놀로지의 Micro Robot | ||
| 훌륭한 Signal-to-noise 비율 및 저전류 측정용 독립 케이블 | ||
| 짧은 Working distance 및 Low voltage 이미징 가능 | ||
| 높이(Z축) 조절이 가능한 Sample stage(optional) | ||
| 큰 샘플을 위한 Sample stage(optional) | ||
| 가장 작은 SEM 진공 챔버와도 호환 가능한 가볍고 컴팩트한 플랫폼 | ||
| SM100 / Φ 100mm (4-Bot) Stage mounted type, Sample size up to ~25mm | ||
| SM125 / Φ 125mm (8-Bot) Stage mounted type, Sample size up to ~50mm | ||
| LL10 / Φ 100mm (4-Bot) Load-lock type, Sample size up to ~25mm | ||
| LL11 / Φ 112mm (8-Bot) Load-lock type, Sample size up to ~38mm | ||
