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    마이크로 스케일 탐침 장비 Microprobing OM Solutions
  • Piezo electric을 사용해 Micro-Nanometer 단위로 4축 움직임이 가능한 miBot
  • 쉽고 간편하게 다양한 tip 교체, 사용
  • 높은 기계적 안정성과 0에 수렴하는 drift
  • 간단하고 직관적인 동작 방법
  • 광학 현미경, 형광 현미경, AFM 등의 장비에 모두 적용 가능
  • Die-level, Wafer-level에서 사용 가능한 station(optional)
  • 마이크로 스케일 탐침 장비
    Microprobing OM Solutions
  • Piezo electric을 사용해 Micro-Nanometer 단위로 4축 움직임이 가능한 miBot
  • 쉽고 간편하게 다양한 tip 교체, 사용
  • 높은 기계적 안정성과 0에 수렴하는 drift
  • 간단하고 직관적인 동작 방법
  • 광학 현미경, 형광 현미경, AFM 등의 장비에 모두 적용 가능
  • Die-level, Wafer-level에서 사용 가능한 station(optional)
  • Product Features 제품특징

    Microprobing OM Solutions

    휴대용이성
    1) miBase BS-43에 miBot을 매우 간편하여 설치하고 사용할 수 있어, 공용 장비를 사용하는 실험실에 이상적임
    2) 최대 5cm (2”) 직경의 샘플 수용 가능

    컴팩트한 사이즈
    1) 초소형의 miBot 사이즈로 장비와 완벽한 일체화
    2) 다양한 크기 및 모양이 가능한 컴팩트한 스테이지

    저전류 측정 나노프로빙
    1) 100fA/V 의 낮은 누설 전류
    2) 최대 4개의 프로브를 독립적으로 포지셔닝 가능
    3) 작은 진공 챔버를 가진 현미경에도 사용 가능한 컴팩트한 디자인의 스테이지

    Specifications 제품사양
    Specifications
    휴대용이성miBase BS-43에 miBot을 매우 간편하여 설치하고 사용할 수 있어,
    공용 장비를 사용하는 실험실에 이상적임
    최대 5cm (2”) 직경의 샘플 수용 가능
    컴팩트한 사이즈초소형의 miBot 사이즈로 장비와 완벽한 일체화 
    다양한 크기 및 모양이 가능한 컴팩트한 스테이지
    저전류 측정 나노프로빙100fA/V 의 낮은 누설 전류
    최대 4개의 프로브를 독립적으로 포지셔닝 가능
    작은 진공 챔버를 가진 현미경에도 사용 가능한 컴팩트한 디자인의 스테이지
    Application 어플리케이션
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